微機電系統，也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等，指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。微機電系統是在微電子技術（半導體制造技術）基礎上發展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。

微機電系統是一種先進的制造技術平臺。它是以半導體制造技術為基礎發展起來的。MEMS技術采用了半導體技術中的光刻、腐蝕、薄膜等一系列的現有技術和材料，因此從制造技術本身來講，MEMS中基本的制造技術是成熟的。但MEMS更側重干超精密機械加工，并要涉及微電子、材料、力學、化學、機械學諸多學科領域。它的學科面也擴大到微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理學的各分支。（文章部分來源于網絡）

華測精密壓電 MEMS 分析儀/微機電系統將數字、模擬和通信電路功能與精密多鐵非線性材料試驗機的現有非線性材料測量功能相結合，所有功能均由 Radiant 的 Vision 可編程測試環境監督。PiezoMEMS分析儀不僅測量商業產品的致動器和傳感器元件的壓電特性，還將與產品的電子邏輯通信，與嵌入式微處理器通信，提供異步電壓和脈沖，并測量傳感器頻率。