高溫介電溫譜儀從專業角度來說，其實就是高溫介電溫譜測量系統。
高溫介電溫譜測量系統是為了滿足材料在高溫環境下的介電測量需求而設計的。它由硬件設備和測量軟件組成，包括高溫測試平臺、高溫測試夾具、阻抗分析儀和高溫介電測量系統軟件四個組成部分。
高溫測試平臺是為樣品提供一個高溫環境；高溫測試夾具提供待測試樣品的測試平臺；阻抗分析儀則負責測試各組參數數據。后，再通過測量軟件將這些硬件設備的功能整合在一起，形成一套由實驗方案設計到溫度控制、參數測量、圖形數據顯示與數據分析于一體的高溫介電溫譜測量系統。